ayx爱游戏官网登录:晶盛机电12英寸单片式碳化硅外延成长设备顺畅交给

ayx爱游戏手机网页版:

　　每经AI快讯，12月24日，据晶盛机电官微音讯，近来，晶盛机电在碳化硅（SiC）中心装备范畴获得重大突破，12英寸单片式碳化硅外延成长设备顺畅交给全球头部SiC外延晶片出产商瀚天天成。此次研制的12英寸单片式SiC外延设备可兼容8、12英寸SiC外延出产，其首创的笔直分流进气计划，完成了晶圆表面温度高精度闭环操控、工艺气体准确分区操控等技能，一起设备装备了主动化上/下料模块及一键主动PM辅佐功用，大幅度的进步颗粒操控能力和保护功率。